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產品簡介
CS系列數字式質量流量控制器數字式質量流量控制器.高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
| 品牌 | 七星華創 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產品種類 | 質量式 | 介質分類 | 氣體 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子 |
CS系列數字式質量流量控制器數字式質量流量控制器.高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
CS200A 數字式氣體質量流量控制器
產品型號：CS200-A型
產品系列：CS系列數字式質量流量控制器
產品類型：高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
| 型號 | CS200-A | |||||||||
| 閥類型 | 常開(流量規格≤30SLM) 或常閉 | 無 | ||||||||
| 流量規格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | |||||||||
| 準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |||||||||
| 線性 | ±0.5% F.S. | |||||||||
| 重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||
| 響應時間 | ≤ 1sec | |||||||||
| 工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規格≤50SLM | ＜0.02 MPa | ||||||||
| 溫度系數 | 零點: ≤±0.05% F.S/℃; 調節時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量規格≤30SLM; 調節時: ≤±0.2% F.S/℃ 流量規格＞30SLM | |||||||||
| 耐壓 | 3MPa | |||||||||
| 漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |||||||||
| 密封材料 | 氟橡膠； | |||||||||
| 工作環境溫度 | （5～45）℃ | |||||||||
| 輸入信號 | 數字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | 無 | ||||||||
| 輸出信號 | 數字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | |||||||||
| 零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S/年 | |||||||||
| 電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |||||||||
| 表面化學成分 | 常態 | |||||||||
| 表面粗糙度 | 25 Ra | |||||||||
| 標準接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3； 雙卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭; φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭; | |||||||||
| 電源接頭形式 | D型9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 | |||||||||
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg | ||||||||
型號 | CS200-A | |
閥類型 | 常開(流量規格≤30SLM) 或常閉 | 無 |
流量規格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
線性 | ±0.5% F.S. | |
重復精度 | ±0.2% F.S. | |
響應時間 | ≤ 1sec | |
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
溫度系數 | 零點: ≤±0.05% F.S/℃; 調節時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量規格≤30SLM; 調節時: ≤±0.2% F.S/℃ 流量規格＞30SLM | |
耐壓 | 3MPa | |
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |
密封材料 | 氟橡膠； | |
工作環境溫度 | （5～45）℃ | |
輸入信號 | 數字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | 無 |
輸出信號 | 數字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | |
零漂 | 在沒有零點校正時＜0.6%F.S/年 | |
電源 | ±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) | |
表面化學成分 | 常態 | |
表面粗糙度 | 25 Ra | |
標準接頭形式 | 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4´´；雙卡套 3/8´´；VCR1/4´´陽接頭；雙卡套φ3； | |
電源接頭形式 | D型9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 | |
重量 | 1 Kg | 0.8Kg |
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