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產(chǎn)品中心實驗室氣體配比器氣體液體配比器KT-C4ZS質量流量計智能氣體配比器
產(chǎn)品簡介
質量流量計智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調節(jié)不同時間不同流量氣體，操控簡單，
| 品牌 | 鄭科探 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 其他 | 介質分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 綜合 |
質量流量計智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調節(jié)不同時間不同流量氣體，操控簡單，
CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
• 準確度采用設定點精度，產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.，響應時間最快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準確性。
質量流量計智能氣體配比器KT-C4ZS資料 ;
產(chǎn)品型號 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
氣體通道 | 4進1出 | 4進1出 | |||
可根據(jù)需求定制 | |||||
產(chǎn)品類型 | 高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制 | ||||
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | ||||
產(chǎn)品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S | |||
重復精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
響應時間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
最大功耗 | 40W | ||||
進氣口壓 | ≤0.6MPa | ||||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||||
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | ||||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調節(jié) | ||||
時間設定 | 0-32000分鐘 | ||||
清洗功能 | 一鍵清洗 | ||||
程序控制 | 5段可編程序(時間-流量隨意設定值) | ||||
壓力顯示 | 有（出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路） | ||||
氣體混合罐 | 有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻） | ||||
氣體加熱 | 無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調） | ||||
流量累計 | 有（累計當前運行總流量） | ||||
可選進出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||||
抗電磁干擾 | 有 | ||||
外形尺寸 | 550x380x400mm | ||||
重量 | 18KG～20KG | ||||
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